[SEMICON 日本 2022] KUMADE-FORK（EC型） - 賀茂科技有限公司

賀茂科技有限公司 在 SEMICON 日本 2022 處展示了 KUMADE-FORK（EC型）。

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我公司是專業從事特種上原運輸的廠家。
這次，我們將解釋 EC 類型。

事實上，這將是一個 EC 類型的展覽。

EC型是我公司最新開發的用於輸送最高300mm晶圓的機型。什麼時候

對於300mm的大直徑晶圓，由於自身的偏轉較大，很難實現無接觸轉移

重量

. ，使呼出的空氣和旋流呼出的面積來到根側，並且

反之，根部呼出的空氣則向頂端側移動，在中央部分產生空氣斥力。它產生了戰鬥的力量。

通過這樣做，您可以將因自身重量而彎曲的 TAIKO 威化餅向上推。

此外，還有 TAIKO 的正面、背面、今天的背面和反轉。

除了薄 TAIKO 晶圓外，我們還可以處理公平晶圓、鍵合晶圓和厚晶圓。